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【華為】中国、EUV半導体露光装置を完全国産化へ [982282904]
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0001番組の途中ですがアフィサイトへの転載は禁止です (テテンテンテン MM8e-eVYH)垢版2022/11/22(火) 21:54:08.52ID:iwCBWmwgM●?2BP(2000)

華為突圍 秀EUV光刻技術

チップネッキングの問題に直面して、ファーウェイは最近、新しい極端紫外線(EUV)リソグラフィ技術の特許を公開しました。
ファーウェイの特許「反射鏡、リソグラフィ装置およびその制御方法」は、固定干渉縞の形成によりコヒーレント光が均一化できないという問題を解決し、EUVリソグラフィ装置の最適化により均一化を実現するものです。

これは、ファーウェイが幻影に見切りをつけ、リソグラフィーそのものの開発に踏み切ったことを示すものだ。

リソグラフィーはウェハー製造に欠かせない重要な装置ですが、最先端のリソグラフィー技術はオランダのASML社が開発しており、DUVリソグラフィーとEUVリソグラフィーを製造し、前者は主に28nm以下のローエンドプロセス用ウェハーを、後者は主に7nm以下のハイエンドプロセス用ウェハーを生産しています。

EUV露光機は、将来の先端半導体プロセスの開発方向とその高みであり、光源として10-14nmの極端紫外線を使用し、市場では最高レベルの技術の露光製品である。 しかし、米国の禁止令により、本土のメーカーはDUV露光機しか購入できず、EUV露光機を手に入れることができない。

そのため、ファーウェイが開発したKirin 9000などの高性能チップはASMLのハイエンドEUVリソグラフィでは製造できず、現在の中国国内の装置では近い将来7nmや5nmといった先端プロセスのチップを製造することはできない。

例えば、清華は光源技術の壁を乗り越え、EUV露光に使える新しい光源をマスターし、中国科学院も物体鏡システムの技術をマスターしています。

技術はあっても、リソグラフィーは内部部品が10万点以上あり、膨大なサプライチェーンが必要なため、製造が容易ではなく、これが大陸のリソグラフィー自製化の大きな障害になっているのだろう。

ファーウェイはリソグラフィーを開発する一方で、リソグラフィーを「バイパス」する技術も開発している。 例えば、米国が独占しているシリコンウェーハの代わりに光電子ウェーハを使用する積層ウェーハ技術を提案している。

また、ASML社は先日のグローバル・カスタマー・カンファレンスで、今後も投資を増やしていくことを発表しています。 ASMLは今後もDUV露光装置を中国企業に出荷し、EUV90台、DUV600台への生産能力増強(2025-2026年)と、High-NA EUVの生産能力20台への増強(2027-2028年)を発表しています。

https://udn.com/news/amp/story/7333/6780215
0003番組の途中ですがアフィサイトへの転載は禁止です (ワッチョイW 62bc-lc5Z)垢版2022/11/22(火) 21:56:00.84ID:HMAvkK9n0
今露光装置のシェアってTELが一番だっけ?
0004番組の途中ですがアフィサイトへの転載は禁止です (ササクッテロリ Spdf-SwrV)垢版2022/11/22(火) 21:56:01.39ID:ech43dgvp
ファーウェイって漢字表記は「遠路」でしょ?
どう解釈したら華為になるの
0005番組の途中ですがアフィサイトへの転載は禁止です (ワッチョイW 128c-dPUs)垢版2022/11/22(火) 21:57:58.87ID:xYvRC+cC0
父さん…
もう一度家族にしてくれ
0006番組の途中ですがアフィサイトへの転載は禁止です (ワッチョイW 82b4-Os4M)垢版2022/11/22(火) 21:58:29.47ID:CU3e8rK60
これ凄いね
0007番組の途中ですがアフィサイトへの転載は禁止です (ワッチョイW a705-QD1s)垢版2022/11/22(火) 21:58:45.60ID:miRuu15R0
まーた、日本の技術パクったんか
0008番組の途中ですがアフィサイトへの転載は禁止です (ワッチョイ e2af-9FEU)垢版2022/11/22(火) 21:59:40.50ID:vLZ+6rsZ0
ほー
0013番組の途中ですがアフィサイトへの転載は禁止です (ワッチョイW 62bc-lc5Z)垢版2022/11/22(火) 22:18:12.84ID:HMAvkK9n0
>>10
キヤノンってマスクじゃね?
0015番組の途中ですがアフィサイトへの転載は禁止です (ワッチョイW 128c-mLYv)垢版2022/11/22(火) 22:24:05.60ID:pudHBCRr0
まぁこうなるよね
0016番組の途中ですがアフィサイトへの転載は禁止です (ワッチョイW fb47-BPHf)垢版2022/11/22(火) 22:31:31.08ID:sVr/4d2C0
ネトウヨ「どうせ日本の技術をパクった」
0017番組の途中ですがアフィサイトへの転載は禁止です (ワッチョイW 628c-XMXT)垢版2022/11/22(火) 22:36:01.61ID:CoxxXnv90
中国がEUV露光装置作れるのがマジとなると
ASMLの独占が崩れるって意味でも衝撃的な事件だな
0019番組の途中ですがアフィサイトへの転載は禁止です (ワッチョイW 628c-XMXT)垢版2022/11/22(火) 22:37:55.86ID:CoxxXnv90
まだ特許取っただけで露光装置作れるわけじゃないのか

EUV露光装置作れるとなったら世界中に衝撃走るもんな
0020番組の途中ですがアフィサイトへの転載は禁止です (ワッチョイ e2d1-Rsnd)垢版2022/11/22(火) 22:43:04.54ID:U9jbQQ+q0
>>4
アルファベット表記がHUAWEIなんだから華為の読みでHUAWEIじゃないのか
0021番組の途中ですがアフィサイトへの転載は禁止です (ワッチョイW e2a7-b0IT)垢版2022/11/22(火) 22:45:00.35ID:nvxt1O1W0
これ半分アメリカが育てたようなもんだろ
0023番組の途中ですがアフィサイトへの転載は禁止です (ササクッテロラ Spdf-SwrV)垢版2022/11/22(火) 22:55:07.96ID:B3yJ7mHCp
>>20
今までずっとFarWayかと思ってた
0024番組の途中ですがアフィサイトへの転載は禁止です (ワッチョイ c6a0-uF5C)垢版2022/11/22(火) 22:57:39.19ID:4hyNToT30
1兆円ばら撒いたんだっけ?1社でも残れば成功だし。貧国ジャップとは格が違うわ。
0025番組の途中ですがアフィサイトへの転載は禁止です (ワッチョイW c356-HeAq)垢版2022/11/22(火) 22:57:47.13ID:uLScqTCy0
しばらくはマルチパターニングで行くのかと思ってたわ
0026番組の途中ですがアフィサイトへの転載は禁止です (テテンテンテン MM8e-4cn+)垢版2022/11/22(火) 22:58:14.97ID:lkNKQBUhM
ASMLやばいんじゃね
0028番組の途中ですがアフィサイトへの転載は禁止です (ワッチョイW 7779-wKtJ)垢版2022/11/22(火) 23:19:31.56ID:zRYRcA/l0
>>4
far wayと思ってたのか?ツイッターでやったらいいねたくさんもらえそう
0029番組の途中ですがアフィサイトへの転載は禁止です (ワッチョイ 869f-ihPV)垢版2022/11/22(火) 23:21:39.62ID:ow1dWeqA0
資金と人材の使い方が上手なんだな
0031番組の途中ですがアフィサイトへの転載は禁止です (ワッチョイW cfd2-iI5k)垢版2022/11/23(水) 01:22:02.79ID:p0dorLMN0
中国をハブればハブるほどどんどん内製化が進むな
0034番組の途中ですがアフィサイトへの転載は禁止です (スププ Sd02-XENP)垢版2022/11/23(水) 01:27:22.49ID:Zzlj8yOId
>>4
華 ふぁ
為 うぇい
0038番組の途中ですがアフィサイトへの転載は禁止です (アウアウアー Sa9e-iJfj)垢版2022/11/23(水) 13:38:12.40ID:9oZr7Hdha?2BP(2001)

ASMLの見立てによるとこのままだと中国が製造装置技術でASMLに追いつくのは5年後だそうな
そうなるとASML自身の存続が危うい状態になってるから本当は中国に依存させたままにしておきたい
でもアメリカの圧力で制裁に勝手に加えられてしまうってのが本音だろう
0039番組の途中ですがアフィサイトへの転載は禁止です (アウアウエーT Sa3a-ihPV)垢版2022/11/23(水) 13:44:33.94ID:6zI3w8uYa
すべての最高の技術は中国に存在することになるんやろなぁ
無尽蔵に技術投資できるから
0040番組の途中ですがアフィサイトへの転載は禁止です (JPW 0Hfa-VYX9)垢版2022/11/23(水) 13:59:59.07ID:PBWre88fH
>>30
中華がガチると10年以内に達成するから油断できん
最先端は無理かもしれんが数世代遅れ程度ならすぐ追いつく
0049番組の途中ですがアフィサイトへの転載は禁止です (アウアウウー Sa3b-9t5w)垢版2022/11/23(水) 18:45:38.56ID:GF/D8Z3+a
>>4
>ファーウェイって漢字表記は「遠路」でしょ?

ああ?
どう読んだら遠路がHuaWeiになんねん
遠路ならYuanLuやないか
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