結局コンパクトEUVって使い物にならんの？

>>沖縄科学技術大学院大学（OIST）の新竹積教授は2024年7月、小型EUV（極端紫外線）光源で動作する「EUVリソグラフィー先端半導体製造技術」を開発したと発表した。
>>この技術を用いると、消費電力を従来の10分の1以下にでき、装置コストも削減可能だという。