ＴＳＭＣの最先端半導体製造に死角、途上国一国を上回る電力消費量
世界最先端の半導体製造に用いられる機器は近代工学の奇跡と言える。極端紫外線（ＥＵＶ）露光装置は人間の目では捉えられない非常に短い波長の光を用いてシリコンウエハーの表面に微細な回路パターンを焼き付ける。10万個の部品で構成され、価格は１億5000万ドル（約205億円）を超えるこの装置を製造しているのは世界でオランダのＡＳＭＬホールディング１社のみだ。
ＥＵＶ露光装置は、半導体の小型化・高性能化・省電力化の追求が製造プロセスを一段と複雑かつエネルギー集約的にしている状況も浮き彫りにする。同装置の定格消費電力は約１メガワットと、一世代前の装置の約10倍に増加した。最先端半導体製造でこれに代わる装置がないため、半導体業界は炭素排出削減を目指す世界的取り組みの大きな障害になる可能性がある。
ＥＵＶ露光装置を最も多く導入しているのは半導体受託生産世界最大手の台湾積体電路製造（ＴＳＭＣ）だ。同装置を80台余り保有するＴＳＭＣは現在、台湾南部・台南市の新工場で回路線幅が３ナノ（ナノは10億分の１）メートルの「３ナノ品」用の新世代装置の導入を進めている。同社はこのプロジェクトに200億ドルを投じる計画。
ＥＵＶ露光装置の運転には大量の電力を要することから、ＴＳＭＣの電力消費は近く、人口2100万人のスリランカ全体の消費量を上回る見通しだ。2020年の同社のエネルギー消費量は台湾全体の約６％だったが、25年までに12.5％に拡大すると予想されている。
ＴＳＭＣに加え、米メモリー製造大手マイクロン・テクノロジーも台湾西部の台中市の製造施設にＥＵＶ露光装置を少なくとも１台導入する計画。ブルームバーグ・インテリジェンス（ＢＩ）のアナリスト、チャールズ・シュム氏によると、台湾の半導体受託製造（ファウンドリー）業界では向こう３年以内に全体の生産の４分の１がＥＵＶ露光装置を必要とするようになる見通し。
台湾中央大学の梁啟源教授（経営学）は半導体メーカーが自前の発電所を建設しない限り、台湾は電力を半導体業界に回す余裕がなくなるだろうと指摘。予想外の需要急増や供給面の混乱などで生じる電力不足を補う予備的発電能力の目安である運転予備力は当局が十分と見なす10％を年内に下回る可能性が高いと説明した。
半導体業界は台湾経済に不可欠なことから、電力不足が発生した場合は他の業界がより大きな打撃を受ける見通しだ。環境団体グリーンピースの気候・エネルギー分野キャンペーン担当者、トレーシー・チェン氏は「電力不足は必ず生じるだろう」とした上で、「ＴＳＭＣは台湾のエネルギー供給の大半を消費し、他のセクターにしわ寄せが及ぶことになる」と指摘した。
ＴＳＭＣの半導体製造が環境に及ぼす影響の大きさは、どのような電源を利用するかに左右される。ベルギーの研究機関ＩＭＥＣのサステナビリティ・プログラム責任者ラーシュオーケ・ラグナルソン氏は「半導体メーカーが電力消費量の極めて多い装置を稼働させているところでは再生可能エネルギーの活用が特に重要かつ急務になっている」と指摘した。
しかし台湾は化石燃料になお大きく依存している。７月公表の直近のエネルギー報告書によれば、21年末時点で再生エネは電力供給全体の６％にとどまった。これを受け、当局者は25年までの目標値を15％に引き下げた。16年に設定した当初の目標は20％だった。サムスン電子がある韓国もなお電力の60％強を石炭・天然ガスに頼っている。
一方、米インテルはアリゾナ、ニューメキシコ、オレゴンの各州の工場がグリーンエネルギーを活用できることも寄与して、21年には再生エネが消費電力の80％を占めた。ただ先端製造技術の利用により総消費電力は大幅に増えている。
ＡＳＭＬは現在、かつてなく強い需要に直面している。米政府は最先端ではない半導体の製造装置についても中国への販売をやめるよう圧力をかけているが、ＢＩの若杉政寛シニアアナリストによると、そうした中でもＡＳＭＬの23年売上高は約260億ドルと、30％強増加する見込みだ。同社のロジャー・ダッセン最高財務責任者（ＣＦＯ）は今年４月、25年のＥＵＶ露光装置の出荷目標台数を当初の70台から90台に増やす可能性を検討していると明らかにした。
https://www.bloomberg.co.jp/news/articles/2022-08-26/RH73C8T0AFB401
