キヤノンはEUVよりも9割少ない消費電力でチップ製造が出来るリソグラフィ装置を2025年にも発売する
https://texal.jp/2024/02/01/canon-will-launch-lithography-equipment-in-2025-that-can-manufacture-chips-using-90-less-power-than-euv/