>>151
28nm対応と28nmまで対応は違うよ
それいうならASMLのNXT 2000iだって38nm対応になっちゃう

これ最近Piotechだったかな？も質疑応答で言ってたが
「28nm対応とか7nm対応とか、そういう特定のプロセスに対応した製造装置や素材品というのはない。
（fabじゃないんで）大まかに言ってこんなもんまで出来るとしか分からないし、
それ以降の微細化も行けるときも普通にある」
とのこと